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第17章 光刻机的心脏病（第1页）

狂欢的海洋因林天一句话而冻结。

马文博高举着林天的动作僵在半空，脸上的狂喜迅速褪去。

“眼睛不够亮，心脏跳得不够快。”

这句奶声奶气的评价，也像一盆冰水，浇灭了在场所有人的热情。

马文博缓缓将林天放下，蹲下身，视线与他齐平，语气前所未有的郑重：“林总工，请您指示。”

整个光刻机调试大厅，数百名顶尖专家学者，鸦雀无声，所有人的目光都汇聚在这个三岁的孩子身上。

“抱我过去看看。”林天指了指那台价值连城的庞大机器。

一名离得最近的工程师立刻上前，小心翼翼地将林天抱起，稳稳地托着他走向光刻机的核心部位——那套被重重保护的光学透镜组。

林天的小脸几乎贴在了防尘玻璃上，他伸出胖乎乎的手指，点在玻璃上，正对着一组内部的复杂镜片上。

“眼睛，就是这里。”

此时，国内光学界当之无愧的泰斗，白发苍苍的张教授，忍不住上前一步，低声道：“林总工，这套定制的非球面镜组，已经是全球最高精度的镜组，材料也是热膨胀系数最低的特种石英玻璃”

“不够。”林天奶声奶气的声音打断了张教授的发言。

“极紫外光不是小小的手电筒，它更像是炮弹。每一发光子打在镜片上，都会产生热量。所以这组镜片在光刻过程中，会发生纳米级的热形变。

纳米级形变！

张教授和他的团队脸色剧变。

这个词像一道惊雷劈在他们心头。

这是他们团队耗费数年，用尽一切手段都无法完全消除的终极难题，是限制精度的魔鬼。

他们一直以为，这已经是物理定律的边界。

“所以，眼睛不够亮。”林天下了结论，“图案投射出去，边缘是虚的，像近视眼没戴眼镜。”

“那那该怎么办？”张教授的声音都在发颤，这是他一生追求的东西。

林天的小脸上露出一丝不符合年龄的深邃：“换材料。用‘准晶格超稳定材料’做镜片，再配上一套‘自适应光学系统’，实时动态校正。”

“准晶格材料？！”张教授失声惊呼，像是听到了不可思议的事。

准晶格，是一种介于晶体和非晶体之间的神奇结构，理论上拥有完美的各项同性与近乎为零的热膨胀系数。但它的制备难度，堪称材料学的地狱模式！

“林总工，制备光学级的准晶格材料，全世界都没有先例，这这恐怕需要数十年！”

“不用。”林天摇了摇头，从工程师怀里拿过自己的奶瓶，嘬了一口，“几周就够了。还记得我搓的那个‘泥巴’吗？”

众人一愣。

“用‘富勒烯分子编织’技术，原理是通的。

一句话，让在场的李院士眼神瞬间狂热起来！

又是这样！又是这种跨越学科的降维打击！

用制备超导材料的思路，去解决光学材料的难题！

这是何等恐怖的知识储备和思维广度！

没等众人从“换眼睛”的震撼中回过神，林天又拍了拍工程师的肩膀，示意他把自己带到设备的核心工作台前。

“心脏，是这里。”他指着那个承载晶圆、进行亿万次超高精度移动的工作台。

“它的问题不是慢，”林天解释道，“是抖。”

“抖？”负责机械控制的刘教授一脸茫然，“林总工，这下面是全球最顶级的气浮减震平台，与地面是完全隔离的，理论上”

“理论上。”林天重复了一遍，带着一丝嘲弄，“你们的气垫，隔绝了地震，隔绝了卡车路过。但隔绝不了‘量子谐振噪声’。”

又是一个全新的名词。